エプソンの水晶デバイス ジャイロセンサ

EPSONジャイロセンサの特徴

単結晶の水晶を素材にしたことで
  • Q値が高く安定した振動が得られるため、高感度が得られる。
  • 材料が安定なため、経時変化が小さい。
  • 材料が均一なため、加工再現性に優れ、フォトリソ加工時の精度が良好。
  • ヤング率が温度変化に対して安定なため、温度変化の小さい振動系が実現可能。
ダブルT型の構造としたことで
  • 水晶の優れた結晶面で構成できるため、温度特性が良い。
  • 駆動系と検出系を分離できるため、モレ振動が小さく高SNが実現可能。
  • 対称性が良いため、振動、衝撃に強い。

XV7011BB

  • SPI / I2Cシリアルインタフェース対応
  • 角速度出力 (16/24bit)
  • 優れた静止時出力温度安定性
  • 温度センサ内蔵
  • セレクタブルデジタルフィルタ内蔵
  • 低消費電流
最適アプリケーション
  • 産業機器等の制振制御、姿勢制御
  • 様々なヒューマンインタフェース検出用など

XV7011BB

XV7001BB

  • SPI / I2Cシリアルインタフェース対応
  • 角速度出力 (16bit)
  • 温度センサ内蔵
  • セレクタブルデジタルフィルタ内蔵
  • 低消費電流
最適アプリケーション
  • 産業機器等の制振制御、姿勢制御
  • 様々なヒューマンインタフェース検出用など

XV7011BB

XV7021BB

  • SPI / I2Cシリアルインタフェース対応
  • 角速度出力 (16/24bit)
  • 優れた静止時出力温度安定性
  • 温度センサ内蔵
  • セレクタブルデジタルフィルタ、離調周波数除去フィルタ内蔵
  • 低消費電流
最適アプリケーション
  • 産業機器等の制振制御、姿勢制御
  • 様々なヒューマンインタフェース検出用など

XV7011BB

製品概要

項目(単位) XV7021 XV7011 XV7001
検出軸 Z
出力 インターフェース SPI, I2C
駆動周波数(kHz) 49.6
角速度出力 16 / 24bit 16bit
電源電圧(V) 2.7 ~ 3.6
インターフェース電源電圧(V) 1.65 ~ 3.6
消費電流(mA) 0.9 typ.
スタンバイ電流(mA) 0.16 typ.
公称感度 70LSB/(○/s):16bit
17920LSB(○/s):24bit
280LSB/(○/s): 16bit
71680LSB/(○/s): 24bit
検出範囲(○/s) ±400 ±100
ゼロ点温度特性(○/s) ±0.25(-10~+50℃)
±1(全温度範囲)
±1(全温度範囲) ±5(全温度範囲)
ノイズ(○/s√Hz) 0.0015typ 0.003typ.
LPF帯域幅(Hz) Selectable; 10 ~ 500
HPF帯域幅(Hz) Off, Selectable; 0.01 ~ 3
温度センサー 内蔵

低ノイズ

当社代表製品のノイズ密度を測定したデータです。

ダブルT型の構造としたことで、お客様使用帯域内で、0.005(°・s-1)/√Hzの低ノイズを実現しております。


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安定した温度特性

0点温度特性が安定

当社代表製品の出力(0点)変化量の温度特性を測定したデータです。

水晶材料の良さをダブルT構造によってさらに引き出すことで、優れた0点安定性を実現しております。


感度温度特性の安定

当社代表製品の感度誤差の温度特性を測定したデータです。 水晶の優れた結晶面で駆動系と検出系を構成できるため、優れた感度安定性を実現しております。


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耐振動

角速度以外の他の振動に影響されにくい

当社代表製品に20~2000Hzの周波数の振動(X,Y,Z方向)を加えた時の出力(0点)変化量のデータです。外部振動に対する優れた安定性を実現しております。


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耐衝撃

衝撃に強い

当社代表製品に100G相当の衝撃(X,Y,Z方向)を加えたときの出力(0点)変化量のデータです。 外部からの衝撃に対する優れた安定性を実現しております。


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