圧力センサとは「圧力の状態を検知して電気信号に変える」ものです。
アルプスアルパインはMEMS*プロセスでウエハに深堀エッチングを行いピエゾ抵抗素子を生産しており、その素子を使って圧力センサをご提供しています。その検出方式や原理についてご紹介します。
＊MEMSとは、Micro Electro Mechanical Systemの略で半導体の製造技術を応用した微細加工技術
配信日：2021年2月15日
出典：Alps Alpine e-letter
圧力センサとは「圧力の状態を検知して電気信号に変える」ものです。
アルプスアルパインはMEMS*プロセスでウエハに深堀エッチングを行いピエゾ抵抗素子を生産しており、その素子を使って圧力センサをご提供しています。その検出方式や原理についてご紹介します。
＊MEMSとは、Micro Electro Mechanical Systemの略で半導体の製造技術を応用した微細加工技術
配信日：2021年2月15日
出典：Alps Alpine e-letter
